无尘室/洁净室/净化车间标准规格说明
表1-1 美国联邦标准209D洁净室规格无尘室/洁净室/净化车间标准规格说明（一）
|
洁净室级数（Class) |
微尘粒子 | 压力 | 温度 | 风速与换气率（次/hr) | 照度lux | ||||||
| 粒子大小um | 粒子数目Particles/ft3 | mmAg | 值域℃ | 推薦值℃ | 误差值℃ | *大MAX% | *小MIN% | 误差% |
层流方式0.35~0.55 m/s |
1080
~
1620 |
|
| 1 | ≧0.5 |
≦1 |
＞1.3 |
19.4~25 |
22.2 |
±2.8
特 殊 需 求
±1.4 |
45 | 30 |
±10
特 殊 需 求 ±5 |
||
| ≧5.0 | 0 | ||||||||||
| 10 | ≧0.5 |
≦10 |
|||||||||
| ≧5.0 | 0 | ||||||||||
| 100 | ≧0.5 |
≦100 |
|||||||||
| ≧5.0 | ≦1 | ||||||||||
| 1000 | ≧0.5 |
≦1000 |
乱流方式≧20次/hr |
||||||||
| ≧5.0 | ≦10 | ||||||||||
| 10000 | ≧0.5 |
≦10000 |
|||||||||
| ≧5.0 | ≦65 | ||||||||||
| 100000 | ≧0.5 |
≦100000 |
|||||||||
| ≧5.0 | ≦700 | ||||||||||
| 至于209E和209D等*大之不同点在于209E表示单位增加了公制单位，即洁净室等级以“M”字头表示，如M1、M1.5、M2、M2.5、M3......依此类推，其目的在于配合国际公制单位之标准化。M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中≧0.5um之微尘粒子数目字以10的幂次方表示，而取指数为之；若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间（即非整数，则以1.5、2.5、或3.5......等表示之。表1-2即为1992年9月新颁布之美国联邦标准209E之内容，前述之M字母后的数字，可从表中0.5um列的数值中求出，读者可试算之。无尘室/洁净室/净化车间标准规格说明 |
表1-2 美国联邦标准209E
|
洁净度等级 |
微尘粒子 |
||||||||||
|
0.1um |
0.2um |
0.3um |
0.5um |
5um |
|||||||
|
单位 |
单位 |
单位 |
单位 |
单位 |
|||||||
|
公制 |
英制 |
(m3) |
(ft3) |
(m3) |
(ft3) |
(m3) |
(ft3) |
(m3) |
(ft3) |
(m3) |
(ft3) |
|
M1 |
|
350 |
9.91 |
75.7 |
2.14 |
30.9 |
0.875 |
10.0 |
0.283 |
- |
- |
|
M1.5 |
1 |
1240 |
35.0 |
265 |
7.50 |
106 |
3.00 |
35.3 |
1.00 |
- |
- |
|
M2 |
|
3500 |
99.1 |
757 |
21.4 |
309 |
8.75 |
100 |
2.83 |
- |
- |
|
M2.5 |
10 |
12400 |
350 |
2650 |
75.0 |
1060 |
30.0 |
353 |
10.0 |
- |
- |
|
M3 |
|
35000 |
991 |
7570 |
214 |
3090 |
87.5 |
1000 |
28.3 |
- |
- |
|
M3.5 |
100 |
- |
- |
26500 |
750 |
10600 |
300 |
3530 |
100 |
- |
- |
|
M4 |
|
- |
- |
75700 |
2140 |
30900 |
875 |
10000 |
283 |
- |
- |
|
M4.5 |
1000 |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
35300 |
1000 |
247 |
7.00 |
|
M5 |
|
- |
- |
- |
- |
- |
- |
100000 |
2830 |
618 |
17.5 |
|
M5.5 |
10000 |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
353000 |
10000 |
2470 |
70.0 |
|
M6 |
|
- |
- |
- |
- |
- |
- |
1000000 |
28300 |
6180 |
175 |
|
M6.5 |
100000 |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
3530000 |
100000 |
24700 |
700 |
|
M7 |
|
- |
- |
- |
- |
- |
- |
10000000 |
283000 |
61800 |
1750 |
|
美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英尺为单位，而日本则是采用公制，即以每立方公尺为单位；另外209D与日本JIS（B9920-1989）标准中另一不同点为209D是以0.5um之粒子数为计数基准，而日本则以0.1um微粒子为计数标准。日本标准之表示法是以Class1,Class2,Class3,......Class8表示，即*好之等级为Class1,*差则为Class8,表1-3为日本JIS（9920-1989）之标准规定的粒子上限数（个/m3）。其Class1，Class2...之数目字以0.1um粒子为基准，而以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10之幂次方，取其指数而得。无尘室/洁净室/净化车间标准规格说明 |
表1-3 日本JIS（9920 ~1989）标准
| 粒径\级数 | Class1 | Class2 | Class3 | Class4 | Class5 | Class6 | Class7 | Class8 |
| 0.1 | 101 | 102 | 103 | 104 | 105 | 106 | 107 | 108 |
| 0.2 | 2 | 24 | 236 | 2，360 | 23，600 | - | - | - |
| 0.3 | 1 | 10 | 101 | 1，010 | 10，100 | 101，000 | 1，010，000 | 10，100，000 |
| 0.5 | - | - | 35 | 350 | 3，500 | 35，000 | 350，000 | 3，500，000 |
| 5.0 | - | - | - | - | 29 | 290 | 2 |
