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无尘室/洁净室/净化车间标准规格说明

日期:2019-05-22 04:49
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摘要:
目前世界各国虽有自订规格,但普遍还是采用美国联邦标准209为多,今就209D及209E和世界上其他各国之所订标准再做更进一步之介绍与相互比较。表1-1为美国联邦标准209D之洁净室规格。无尘室/洁净室/净化车间标准规格说明(一)无尘室/洁净室/净化车间标准规格说明(一)无尘室/洁净室/净化车间标准规格说明

表1-1 美国联邦标准209D洁净室规格无尘室/洁净室/净化车间标准规格说明(一)

洁净室级数(Class)

微尘粒子 压力 温度 风速与换气率(次/hr) 照度lux
粒子大小um 粒子数目Particles/ft3 mmAg 值域℃ 推薦值℃ 误差值℃ *大MAX% *小MIN% 误差%

层流方式0.35~0.55 m/s
 

1080

~

1620
 

1 ≧0.5 ≦1
 
>1.3
 
19.4~25
 
22.2 ±2.8


±1.4
 

45 30 ±10


±5

≧5.0 0
10 ≧0.5 ≦10
 
≧5.0 0
100 ≧0.5 ≦100
 
≧5.0 ≦1
1000 ≧0.5 ≦1000
 
乱流方式≧20次/hr
 
≧5.0 ≦10
10000 ≧0.5 ≦10000
 
≧5.0 ≦65
100000 ≧0.5 ≦100000
 
≧5.0 ≦700
  至于209E和209D等*大之不同点在于209E表示单位增加了公制单位,即洁净室等级以“M”字头表示,如M1、M1.5、M2、M2.5、M3......依此类推,其目的在于配合国际公制单位之标准化。M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中≧0.5um之微尘粒子数目字以10的幂次方表示,而取指数为之;若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间(即非整数,则以1.5、2.5、或3.5......等表示之。表1-2即为1992年9月新颁布之美国联邦标准209E之内容,前述之M字母后的数字,可从表中0.5um列的数值中求出,读者可试算之。无尘室/洁净室/净化车间标准规格说明

表1-2 美国联邦标准209E

洁净度等级

微尘粒子

0.1um

0.2um

0.3um

0.5um

5um

单位

单位

单位

单位

单位

公制

英制

(m3)

(ft3)

(m3)

(ft3)

(m3)

(ft3)

(m3)

(ft3)

(m3)

(ft3)

M1

 

350

9.91

75.7

2.14

30.9

0.875

10.0

0.283

-

-

M1.5

1

1240

35.0

265

7.50

106

3.00

35.3

1.00

-

-

M2

 

3500

99.1

757

21.4

309

8.75

100

2.83

-

-

M2.5

10

12400

350

2650

75.0

1060

30.0

353

10.0

-

-

M3

 

35000

991

7570

214

3090

87.5

1000

28.3

-

-

M3.5

100

-

-

26500

750

10600

300

3530

100

-

-

M4

 

-

-

75700

2140

30900

875

10000

283

-

-

M4.5

1000

-

-

-

-

-

-

35300

1000

247

7.00

M5

 

-

-

-

-

-

-

100000

2830

618

17.5

M5.5

10000

-

-

-

-

-

-

353000

10000

2470

70.0

M6

 

-

-

-

-

-

-

1000000

28300

6180

175

M6.5

100000

-

-

-

-

-

-

3530000

100000

24700

700

M7

 

-

-

-

-

-

-

10000000

283000

61800

1750

  美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英尺为单位,而日本则是采用公制,即以每立方公尺为单位;另外209D与日本JIS(B9920-1989)标准中另一不同点为209D是以0.5um之粒子数为计数基准,而日本则以0.1um微粒子为计数标准。日本标准之表示法是以Class1,Class2,Class3,......Class8表示,即*好之等级为Class1,*差则为Class8,表1-3为日本JIS(9920-1989)之标准规定的粒子上限数(个/m3)。其Class1,Class2...之数目字以0.1um粒子为基准,而以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10之幂次方,取其指数而得。无尘室/洁净室/净化车间标准规格说明

表1-3 日本JIS(9920 ~1989)标准

粒径\级数 Class1 Class2 Class3 Class4 Class5 Class6 Class7 Class8
0.1 101 102 103 104 105 106 107 108
0.2 2 24 236 2,360 23,600 - - -
0.3 1 10 101 1,010 10,100 101,000 1,010,000 10,100,000
0.5 - - 35 350 3,500 35,000 350,000 3,500,000
5.0 - - - - 29 290 2
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